Железо и провода :  "Ячейки"
Обсуждение всего "электронного", что не относится к мобильной связи. Компьютеры, прочее электронное оборудование, провайдеры стационарного доступа в интернет и т.д. Администратор форума - Wireless 
[ Ячейки ] [ Билайн против МТС - Мегафорум - Tele2 ] [ Виртуальные операторы ] [ Устройства мобильной связи ] [ Железо и провода ]
[ Мобильная связь: покрытие и качество ] [ Барахолка ] [ Клуб "Старые Сell-ки" ] [ 3G против 4G - архив 2003-13 ]
[ "На чердачке" - блог секретов мобильной связи ] [ Клуб "Курилка" ] [ Участники ] [ Правила поведения ] [ Нарушители ]
[ Попали на Ячейки из Яндекс или Google? Зарегистрируйтесь и спросите! ]

[ Lifestalker - Телеграм-канал с уникальным полезным контентом. Подписывайся!
Лайфсталкер
]




Размещено пользователем : Kloin ()
Зарегистрирован: 12 годов назад
Сообщения: 11,538
Ранг: Элитарий - монстр
Дата: 11-02-2022 09:06

Зеленоград разработает два отечественных степпера: на 350 нм и 130 нм (+)(URL)


В Зеленоградском нанотехнологическом центре (ЗНТЦ) началась разработка оборудования для фотолитографии. Два конкурса Минпромторга на создание установок для печати микросхем на кремниевых пластинах прошли осенью 2021 года: один — на разработку фотолитографа с уровнем топологии до 350 нм, второй — до 130 нм. В конце 2026 года планируется запуск серийного производства полностью отечественных фотолитографических установок. На вопросы «Зеленоград.ру» о том, как будет проходить разработка, актуальны ли на рынке чипы 130-65нм и 350нм, зачем замещать зарубежные аналоги и какова история отечественных фотолитографов, ответил генеральный директор ЗНТЦ Анатолий Ковалев.

— Мы заключили два контракта с Министерством промышленности и торговли на разработку степперов: один под минимальный размер элемента в 350 нм, другой — в 130 нм с перспективой его последующей модернизации до топологического уровня 65нм. Снижение размеров будет достигаться, в том числе, применением двойного маскирования — технологии, при которой на одной литографии слой делается несколько раз, чтобы уменьшить предельный размер элемента. Это общемировая практика для снижения минимального размера.

У многих возникает вопрос о том, что 130нм — далеко не предельные на сегодняшний день топологические нормы, и это действительно так. Однако микросхемы от 250 до 65 нм в настоящее время востребованы рынком, и в перспективе десяти лет именно этот уровень будет основным и превалирующим. Субнаномикронные нормы ниже 65 нм — 28 нм, 16 нм, 3 нм — используются для выпуска определенных изделий: процессоров и памяти. Вся остальная электроника — автомобильная, силовая, МЭМСы и т. д. — работает на микросхемах диапазона 250-65 нм, для рынка он актуален.

Контракты предусматривают разработку фотолитографов, оперирующих пластинами диаметром 150 мм и 200 мм, последний будет основным размером, 150мм — опцией. Все наши основные фабрики работают на пластинах в 200 мм.

Фотолитограф на 350нм будет разработан раньше, уже в 2025 году мы рассчитываем приступить к освоению серийного выпуска аппаратуры по этому проекту. В рамках этого проекта мы берём готовый лазер — полупроводниковый, отечественный. Возможно, и зеленоградские компании, специализирующиеся на лазерных технологиях, в будущем смогут принять участие в поставках такого оборудования, для этого будет проведена отдельная конкурсная процедура.

Из конкурсной документации: по первому контракту с Минпромторгом к концу 2024 года в ЗНТЦ будет разработан и освоен в производстве степпер (получен опытный образец), разработаны и поставлены технологические процессы фотолитографии для выпуска на нём микросхем топологического уровня 350 нм, подготовлена документация для запуска серийного производства установки.

Проект 130 нм завершится чуть позже. В рамках этого проекта разрабатывается с нуля полностью отечественный лазер как один из основных элементов комплекса передачи изображения степпера. Он будет работать на длине волны 193 нм — это совершенно новое устройство с актуальными параметрами. Разработка лазера и интеграция его в степпер требует дополнительных ресурсов и времени.

Мы рассчитываем, что установки на этом лазере придут на замену лазерам американской компании Cyber, используемым сейчас на наших фабриках, в том числе зеленоградских.

Из конкурсной документации: по второму контакту с Минпромторгом в ноябре 2026 года в ЗНТЦ должна завершиться разработка и изготовление опытных образцов степпера и источников излучения (эксимерных лазеров) с длиной волны 193 и 248 нм, постановка базовых технологических процессов фотолитографии уровня 130 нм, подготовлена документация для запуска оборудования в серийное производство, определено предприятие-изготовитель.

Контрактом предусмотрено получение опытных образцов с соответствующей литерой, которая позволит запустить лазер в серийное производство. В рамках этого контракта Министерство промышленности и торговли выдаст лицензию на производство той компании, которую он посчитает готовой к выполнению такого заказа. Возможно, это будет ЗНТЦ или зеленоградские компании, производящие оборудование, а может быть, белорусские партнёры, с которыми мы будем сотрудничать при выполнении этого проекта — компания «Планар». Это будет решать министерство. Наша задача — закончить ОКР, параллельно с которым будет определяться серийный производитель, поэтому сроки начала серийного производства уже можно прогнозировать.

Из конкурсной документации: степпер для изготовления микросхем 350 нм — это установка весом в 3.5 тонны и габаритами 2 х 2.6 х 2.5 метров (оптико-механическое устройство, объектив лазера с рабочей длиной волны 365 нм) плюс 2 х 0.8 х 1.6 метров (управляющий комплекс). Базовую платформу установки выполнят в виде кабинета, предназначенного для размещения в чистом помещении класса не хуже 7 ИСО (по ГОСТ ИСО 14644-1-2002). Внутри кабинета будут проходить процессы фотолитографии: индивидуальная обработка кремниевых пластин (диаметром 150 и 200 мм) с автоматической загрузкой и выгрузкой их из кассет.

Корпус степпера оснастят элементами виброзащиты, изолирующей главные узлы (оптическая система, система совмещения, столы) от каркаса установки, а также дополнительным к внешнему собственным фильтрующим нагнетателем очищенного воздуха в рабочую зону — для поддержания класса чистоты в рабочей зоне и системе подачи пластин не менее 5 ИСО.

Степпер для изготовления микросхем 130 нм будет похожим внешним параметрам (его габариты и масса уточнятся при разработке). В конкурсной документации заявлена его производительность — 100 пластин в час.


Есть ли зарубежные аналоги нашей разработки? В мире всего три компании, которые делаю степперы: голландская ASML, их основной производитель, занимающий 84% рынка, и две японские компании — Nikon и Canon. Конечно, мы смотрим на зарубежные образцы, на которых работают сегодняшние фабрики. Будем учитывать их опыт.



Изменения 1 раз. Последнее изменение в 11-02-2022 09:07 by Kloin.




В России началось производство первых отечественных материнских плат на чипсете AMD B450 (+) (Горячая новость) (URL) < барабулька >   [147707]   22-04-2021 20:43
Импортзамещение процессоров в России: всё очень плохо (-) (URL) < Kloin >   [19]   13-04-2022 09:12
Проходит выставка по достижениям в компьютерной технике. Представлены новейшие процессоры от Intel с частотой 4.2 гигагерца, AMD Atlon 64, а так же впервые процессор Зеленоградского НПО «Электроника» (+)  < abc >   [31]   05-05-2022 10:26
Зеленоград разработает два отечественных степпера: на 350 нм и 130 нм (+) (URL) < Kloin >   [66]   11-02-2022 09:06
Проблема только в том, что отечественные процессоры "Байкал" и "Эльбрус" разработаны под 28 нанометров. Так что со 100% импортозамещением процессоров это не поможет. (-) (IMHO)  < Oleg >   [56]   17-02-2022 14:00
Да, это для простых контроллеров, силовых микросхем. (-)  < Kloin >   [54]   17-02-2022 16:22
Зато скрепно! (-)  < abc >   [60]   17-02-2022 14:08
Вот, собственнно и причина, по которой открыто это производство - "возможность установки модуля доверенной загрузки". Это чисто отечественное поделие. (-) (Внимание! Kомпетентное мнение!)  < Oleg >   [116588]   09-05-2021 20:14
Как работает компьютер на российском процессоре Байкал-М (-) (URL) < барабулька >   [131188]   02-05-2021 04:30
Мини-ПК по-русски на процессорах «Байкал» BE-T1000 компании электроникс (+) (URL) < барабулька >   [131170]   02-05-2021 04:41
СЕСТЬ В ТЮРЬМУ ЗА СОЗДАНИЕ ПЕРВОГО РОССИЙСКОГО ПРОЦЕССОРА "БАЙКАЛ" (+) (URL) < барабулька >   [131158]   02-05-2021 04:44
Эльбрус — российский Intel и наша последняя надежда... (+) (URL) < барабулька >   [131116]   02-05-2021 04:45
Андрей Евдокимов «Байкал Электроникс» о разработке микропроцессоров и конкуренции с Intel (+) (URL) < барабулька >   [131099]   02-05-2021 04:49
Почему первых? Это уже было в 90-х. (-) (Ошибочка!) (URL) < popov >   [146462]   23-04-2021 10:40
"Остается надеяться, что когда-нибудь и элементная база, хотя бы частично, будет производиться у нас" 20 лет прошло, а надежда всё жива smiling smiley (-)  < Kloin >   [146390]   23-04-2021 11:21


Array
Sorry, only registered users may post in this forum. Только зарегистрированные пользователи могут писать в этом форуме.